集成電路廠房?jī)艋竽睦镒龅煤茫?/h1>
來(lái)源：m.la-zh.com.cn 作者：空氣好凈化
發(fā)布時(shí)間:2021-04-28 15:55:01點(diǎn)擊:次
凈化廠房只是對(duì)廠房的一個(gè)總稱,它可以根據(jù)不同級(jí)別對(duì)應(yīng)不同的行業(yè),比如電子行業(yè)、醫(yī)藥行業(yè)等等,集成電路廠房也在其中,要求凈化哪里做得好呢?下面為大家詳細(xì)解答.
集成電路凈化廠房是以便考慮半導(dǎo)體設(shè)備加工工藝要求的凈化室,該凈化室對(duì)自然環(huán)境潔凈度等級(jí)、溫度濕度、震動(dòng)、ESD(靜電感應(yīng)操縱)、AMC(汽態(tài)分子結(jié)構(gòu)級(jí)空氣污染物)操縱等都是有一定的要求.相對(duì)性于別的工業(yè)生產(chǎn)凈化室,集成電路生產(chǎn)制造凈化室有總面積大、清潔級(jí)別高、溫度濕度線性度高特性.
集成電路生產(chǎn)制造對(duì)凈化室自然環(huán)境的操縱有比較嚴(yán)苛的要求.不一樣的加工工藝制造對(duì)潔凈度等級(jí)的要求也不盡相同,比如光刻技術(shù)要求在1級(jí)的微自然環(huán)境下,而有機(jī)化學(xué)機(jī)械設(shè)備碾磨則只要求1000級(jí)的自然環(huán)境就可以.此外,集成電路生產(chǎn)制造清潔廠房對(duì)噪音、微振、光照強(qiáng)度等都是有有關(guān)的要求和要求,尤其是震動(dòng)的操縱,在凈化室的工程建筑總體設(shè)計(jì)上就需要有一定的要求.
集成電路生產(chǎn)制造是高耗能的產(chǎn)業(yè)鏈,而清潔空調(diào)機(jī)組的耗能則占在其中的30%之上,因而環(huán)保節(jié)能安全性的凈化室設(shè)計(jì)方案和各種各樣能源收購(gòu)設(shè)計(jì)方案將是將來(lái)的發(fā)展前景.伴隨著集成電路生產(chǎn)技術(shù)的持續(xù)升級(jí),流行大型廠早已進(jìn)入了納米技術(shù)時(shí)期,集成電路生產(chǎn)制造凈化廠房的設(shè)計(jì)方案修建和環(huán)保節(jié)能自主創(chuàng)新也必須持續(xù)提高,為優(yōu)秀制造商品生產(chǎn)制造出示確保.
依據(jù)凈化室氣體循環(huán)系統(tǒng)特性能夠?qū)艋曳殖扇N種類:循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)相互配合高效過(guò)濾器系統(tǒng)軟件、循環(huán)系統(tǒng)離心風(fēng)機(jī)相互配合濕試密封性系統(tǒng)軟件和FFU呼吸系統(tǒng).
第一種方式在小規(guī)模納稅人低級(jí)別要求的凈化室設(shè)計(jì)方案中被廣泛運(yùn)用,針對(duì)大規(guī)模高級(jí)的凈化室則存有運(yùn)作成本費(fèi)過(guò)高、占有室內(nèi)空間過(guò)大等缺陷.
第二種方式的設(shè)計(jì)方案能夠考慮集成電路生產(chǎn)制造凈化室大規(guī)模高級(jí)的要求,但運(yùn)作成本費(fèi)較高,而且凈化室風(fēng)力、排風(fēng)量調(diào)整艱難,系統(tǒng)更新更新改造艱難,因而實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力很低.
第三種的FFU呼吸系統(tǒng)不但節(jié)約運(yùn)作室內(nèi)空間、潔凈度等級(jí)安全系數(shù)高、運(yùn)作低成本,并且實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力很高,能夠不在危害生產(chǎn)制造的狀況下隨時(shí)隨地開展系統(tǒng)更新和調(diào)節(jié),這種都能非常好地考慮半導(dǎo)體設(shè)備的要求,因而在半導(dǎo)體材料加工制造業(yè)FFU呼吸系統(tǒng)慢慢變成最關(guān)鍵的清潔方案設(shè)計(jì).
以上就是為大家分享的"集成電路廠房?jī)艋┕ひ?quot;,希望能對(duì)您有所幫助.只有上面介紹的地方做好了,我們想要的廠房才能完好的呈現(xiàn)在我們眼前.
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集成電路凈化廠房是以便考慮半導(dǎo)體設(shè)備加工工藝要求的凈化室,該凈化室對(duì)自然環(huán)境潔凈度等級(jí)、溫度濕度、震動(dòng)、ESD(靜電感應(yīng)操縱)、AMC(汽態(tài)分子結(jié)構(gòu)級(jí)空氣污染物)操縱等都是有一定的要求.相對(duì)性于別的工業(yè)生產(chǎn)凈化室,集成電路生產(chǎn)制造凈化室有總面積大、清潔級(jí)別高、溫度濕度線性度高特性.
集成電路生產(chǎn)制造對(duì)凈化室自然環(huán)境的操縱有比較嚴(yán)苛的要求.不一樣的加工工藝制造對(duì)潔凈度等級(jí)的要求也不盡相同,比如光刻技術(shù)要求在1級(jí)的微自然環(huán)境下,而有機(jī)化學(xué)機(jī)械設(shè)備碾磨則只要求1000級(jí)的自然環(huán)境就可以.此外,集成電路生產(chǎn)制造清潔廠房對(duì)噪音、微振、光照強(qiáng)度等都是有有關(guān)的要求和要求,尤其是震動(dòng)的操縱,在凈化室的工程建筑總體設(shè)計(jì)上就需要有一定的要求.
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依據(jù)凈化室氣體循環(huán)系統(tǒng)特性能夠?qū)艋曳殖扇N種類:循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)相互配合高效過(guò)濾器系統(tǒng)軟件、循環(huán)系統(tǒng)離心風(fēng)機(jī)相互配合濕試密封性系統(tǒng)軟件和FFU呼吸系統(tǒng).
第一種方式在小規(guī)模納稅人低級(jí)別要求的凈化室設(shè)計(jì)方案中被廣泛運(yùn)用,針對(duì)大規(guī)模高級(jí)的凈化室則存有運(yùn)作成本費(fèi)過(guò)高、占有室內(nèi)空間過(guò)大等缺陷.
第二種方式的設(shè)計(jì)方案能夠考慮集成電路生產(chǎn)制造凈化室大規(guī)模高級(jí)的要求,但運(yùn)作成本費(fèi)較高,而且凈化室風(fēng)力、排風(fēng)量調(diào)整艱難,系統(tǒng)更新更新改造艱難,因而實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力很低.
第三種的FFU呼吸系統(tǒng)不但節(jié)約運(yùn)作室內(nèi)空間、潔凈度等級(jí)安全系數(shù)高、運(yùn)作低成本,并且實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力很高,能夠不在危害生產(chǎn)制造的狀況下隨時(shí)隨地開展系統(tǒng)更新和調(diào)節(jié),這種都能非常好地考慮半導(dǎo)體設(shè)備的要求,因而在半導(dǎo)體材料加工制造業(yè)FFU呼吸系統(tǒng)慢慢變成最關(guān)鍵的清潔方案設(shè)計(jì).
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